エッチング

これまたサンハヤトのエッチング液を使います. 感光と現像がしっかりと出来 ていれば問題なくきれいに仕上がるはずです.

大小2つのバット(底の平たい容器)に入れ, 大きい方に40℃くらいの湯を入 れ, 小さい方にエッチング液を入れます. そして小さい容器を湯の上に浮かべ る感じで置いて温めます. (このことを湯煎といいます.)

基板をエッチング液に入れるとすぐに基板表面がピンク色になるはずです. ならない場合は感光不足 です. あきらめて作り直しましょう. 何度も言いますが, 感光時間は長すぎる くらいがちょうどです.

エッチングが終わりかけてきたとき, ところどころ溶け残っているところがあ ることがあります. 特に基板の端の方で起こることが多くあります. この時は 現像不足なのでもう一度現像液の中に放り込むか, 筆などでその部分だけに現 像液を付けます. また, 溶かしたい部分をとがったもので引っかくのも効果的 です.

エッチングが終わったら水で洗って表面のマスクを取ります. 台所用のスチー ルたわしでごしごしこするとすぐに取れます. スチールたわしはその他にも使 い途が多いので用意しておきましょう.

エッチング液は何度か使えるので, ペットボトルに入れて保存しておきましょ う. 廃液についてですが, 私の研究室(東大)では処理センターがやってくれて いるので処理方法は知りません.